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入力瞬時電圧低下保護(SEMI-F47)

半導体工場はウエハーが投入されてから製品が出来上がるまで通常約2〜3ヶ月かかります。その間に生産工程は500〜600くらいあり、途中一瞬でも停電したり部材が不足したり設備にトラブルがあるとライン上の製品は全て廃棄処分になります。ラインの設備を再点検した上で再稼働するにはさらに2ヶ月かかりその損害は最低でも数十億円になると言われています。
そのため入力電圧がダウンしても正常に動作する半導体製造装置が必要になります。

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)は半導体産業の製造装置・材料メーカーを中心に据え会議です。
SEMI-F47は半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下(半サイクルから数秒)を起こした状態をシミュレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。

一般的には半導体工場の入力電圧はAC200Vのため入力電圧が50%ダウンしてもAC100Vです。スイッチング電源の入力電圧はワイド入力、つまりAC100V/200V連続入力ですからAC100Vまで入力電圧がダウンしても問題ありません。

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